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几种沉积氮化钛涂层的新技术

1、前言

    氮化钛膜作为超硬涂层用于提高工模具的使用寿命的历史已经有2-余年。目前，能够进行产业化沉积氮化钛涂层的沉积技术主要有三极磁控溅射、活性反应离子镀、空心阴极离子镀、热丝弧离子镀、多弧离子镀。在这些沉积技术中以多弧离子镀的金属离化率最高、金属离子流密度最高，最容易获得氮化钛等化合物涂层。

    由于多弧离子镀技术已经成为沉积氮化钛超硬涂层的重要技术，因此大家对它的研究、改进做了大量工作。

2、消除熔滴、细化膜层组织

2.1 在靶面附近设直线型磁场     2.2 在靶面附近设偏转型磁场

3、简化多弧离子镀膜机结构

3.1 矩形平面大弧源多弧离子镀膜机    3.2 柱状弧源多弧离子镀膜机

4、新型非平衡磁控溅射离子镀膜机

4.1 平衡磁控溅射   4.2 非平衡磁控溅射